1.主機機械系統(tǒng)（X、Y、Z三軸或其它）；

2.測頭系統(tǒng)；

3.電氣控制硬件系統(tǒng)；

4.數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（測量軟件）；

5.正向工程：產(chǎn)品設計-->制造-->檢驗（三次元測量儀）

大部份三次元機臺結構都使用精密花崗石做為平臺，較好的機臺會使用00級以上的花崗石。三軸的結構大部份都使用花崗石，有些機型會使用鋁合金或鑄鐵，較高階的機種會使用碳纖、陶瓷或其它復合材質。常見的外型結構為龍門式(或稱移動橋架式)，其他較常見的有單邊架橋式(或稱L橋架式)、雙邊架橋式、懸臂式等。

精確測量各種工件尺寸、角度、形狀和位置，以及螺紋制件的各種參數(shù)，適用于機器制造業(yè)，精密工、模具制造業(yè)、儀器儀表制造業(yè)、電子行業(yè)、塑料與橡膠行業(yè)的計量室、對機械零件、量具、刀具、夾具、模具、電子元器件、電路板、沖壓件、塑料及橡膠制品進行質量檢測和比對。